Advanced Energy推出埃米?代的?革性??功率控制技?
eVerest射????生器?sub-2 nm半????提供下一代???高速回?
丹佛--(BUSINESS WIRE)--(美?商???)-- 高度工程化精密?源??、?量和控制解?方案的全球??者Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)今日??下一代?定和可重?的精密射?功率?源系?,?助客?在下一代半???造中?量?大?出和收益。
eVerest™射????生器??埃米?代?刻和沉??程所需的精???控制而打造,能?支援高度可配置的多??功率??,?而整合到任何?有??功率?送系?中?改??些系?。?平?提供3至10千瓦的?出功率和1至60兆赫的?率,?能??高?100千赫的高精度????率。此外,本?品提供高速?出?定值回?、?渡??之?的受控??以及能存取??物???料生?系?的功能,使?造商能???用於sub-2 nm沉?和?刻剖面的先?、可重??程。
Advanced Energy????功率?品的?深副?裁Juergen Braun表示:「半????的使命是?由日?小型化的晶片提供更佳的性能,而我??正?向埃米?代,日???的3D??和?新?程可以用原子尺度?量尺寸。四十多年?,Advanced Energy一直在半???程的??功率?送和控制系?方面居於?先地位。?由不??新,我?得以保持?一??地位,?因?埃米?代?置?造商??革性高精度??控制的需求,?而增加了?程?窗,?大了?定的操作??,?而?量?大?出和收益。」
eVerest是完整的射?功率?送系?,具有?用於阻抗匹配解?方案的多???,?可?其他Advanced Energy的?新?品(例如eVoS™偏?解?方案)智慧同步化,?而促成即?或用?定?的?渡步??序控制,以促??刻和沉??力?的最佳化。eVerest的高速射??出回?低於200µs,????上升/下降??可低至2µs以下。多????的??控制?能量??和分???了各?新的可能性,而可程式?????保了可靠的?火,以及在具有????????的?程中重建??的能力。
??PowerInsight by Advanced Energy™物???料生?系?整合?,以eVerest?基?的解?方案允?操作人?存取高解析度、高??的嵌入式或系???料。?些?料提供了可操作的?解,支援更快、更正?的?程特性和故障排除,?且?需?入??腔?安?示波器,?而?少了停???。
有????品??和技??格,???我?的?站。
?於Advanced Energy
Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)是?任???型?用和?程??和?造高度工程化精密?源??、?量和控制解?方案的全球??者。利用Advanced Energy的?源解?方案,客?能?在半????、工?生?、??和生命科?、?料中心?算、?路和??等?泛??的???用中?行?新。?藉工程??知?和?全球客?提供快速回?服?和支援,?公司建立?密的合作夥伴??以因?科技的快速?展、推?客?的成????源?品的未?持??新。Advanced Energy?部位於美?科?拉多州丹佛市,四十年?一直致力於提供?善?美的?源?品。
更多??,?造?www.advancedenergy.com。
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Advanced Energy推出适用于埃米时代(Angstrom Era)的具有变革性的等离子功率控制技术 (照片:美?商???)
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